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        AnPT NP001 系列等离子

        2022-03-11 09:21:46

        优异的均匀性、高产能;低生产成本

        满足MSAP/HDI,Flex/Rigid-Flex等各  种产品和工艺制程应用需求,具有良好的工艺性能

        优异的工艺性能,具备较高的处理均匀性

        水平-双极馈电型电极,保证产品双面同步均匀处理

        独特的气体分配及优化的抽气导流设计

        高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求

        可灵活配置电极及气体分配方案,适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求

        触控式操作界面,直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量

        整机设计紧凑,一体化设计整合各组件于主机器内, 占地面积小

        极低的生产保养成本、维护简单便捷

        13.56GHz自适应射频电源,具有优异的稳定性和工艺可重复性

        PCB印刷电路板行业

        COB,COF,IC载板及半导体行业

        LED、LCD、玻璃行业

        电子行业及工业应用


        AnPT NP001 系列等离子



        型号

        AnPT-NP001

        生产板尺寸

        板厚

        0.1-12mm (<1mm, 托盘需要定制)

        三流道

        220-280×50-116mmxy

        四流道

        220-280×50-85mmx y

        活化

        10-15秒

        抽真空+活化+破真空

        30-40秒

         

        水滴角

        <30°

        打印值

        40-50dyne/cm

        气体用量

        O2/Ar 30ml/min;破真空氮气30ml/min

        真空能力

        极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT

        射频电源

        500W/13.56GHz

        气体纯度

        99.999%


        应用领域

        表面清洁-可有效去除产品表面污染物,包括有机物,氧化物

        表面活化或改性-活化产品表面,增强表面润湿性(亲水性)和表面能。有效提升附    着力(结合力)

        表面蚀刻-可去除表面或精细线路间光刻胶/干膜残留(显影残留)

         

        绿油残留、有机物、金属氧化物去除

        表面活化与清洁

        表面改性

        层压前处理改善材料间结合力,消除压合层分层

        压膜前处理,改善压膜附着力,消除不良

        PI粗化,补强前处理,增强补强贴合结合力

        防焊前处理,有效防止涂覆防焊油墨脱落

        丝印字符/喷码前处理,保证字符清晰、无脱落

        材料表面活化改性,改善难粘材料间可粘性,提升粘接结合力

        改善材料表面亲水性(润湿性), 提升材料可涂覆性和金属溅镀性

        AP3系列适用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各种基材和多种应用需求


        三通道或四通道可以切换,自动投收板


        设备尺寸及规格

        长x宽x高

        1700mm ( L ) × 1250mm ( W ) ×2300mm ( H )

         

        净重

        800Kg

        工艺腔体

        腔体尺寸(长x宽x高)

        360*440MM

        通道

        1-4通道可调

        电极

        电极尺寸

        有效处理面积

            

        240-300mm

        电极类型

        腔体式电极

        射频电源

        功率规格

        500W

        射频频

        13.56GHz  

        气体控制

        标准规格

         

        标准_5slm、 5slm,

        质流量计最多可配置数

        2-3

        真空泵

        湿式真空泵

        PZ60

        净化氮气流量

        5slm

        控制系统

        人机界面

        触屏人机界面

         

         

         

        厂务要求

        供电需求

        220V,30A,

        工艺气体接口

        快插管径Φ6

        工艺气体种类及纯度

         O2=99.999%; N2=99.999%;

         Ar=99.999%

        工艺气体供应压力

        0.6Mpa

        净化氮气接口

        快插管径Φ6

        净化气体纯度

        99.9%

        净化气体供应压力

        0.6Mpa

        压缩空气接口类型

        快插管径Φ6

        压缩空气要求

        洁净、干燥

        压缩空气供应压力

        0.6Mpa

        尾气接口

        KF40





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